一、低温泵的概述具有清洁真空和高排气速度特点的泵低温泵是储存式真空泵，泵内设有极低温面，可以通过冷凝和吸附来捕捉气体，以实现超高真空的状态。另外，由于可以获得没有油污染的清洁真空，并且具有比其他真空泵更高的排气速度而备受瞩目。低温泵的应用领域半导体、液晶、光盘等电子部件、眼镜镜片、超大型腔体的排气等二、低温泵的特征1、......